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精细陶瓷材料

材 料

导电陶瓷

导电陶瓷

  • 导电陶瓷 ACTR

  • 导电陶瓷 ACTR

    ACTR是ASUZAC独立研发的一种本身具有导电性的精密陶瓷。

  • 导电性

    导电性

    有效防止静电对机台的影响,解决镀膜产品镀层脱落问题。

  • 耐腐蚀性

    耐腐蚀性

    可承受盐酸,硫酸,氟酸的腐蚀。

  • 硬度:Hv9

    硬度:Hv9

    减轻对硅晶圆的摩擦和损耗。

  • 致密性

    致密性

    结构致密故可以做到良好的表面粗糙度,不容易沾染粉尘,可保持清洁。



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